(瑞典)可提高半导体芯片良率的超纯水制备技术

发布时间:2024-09-30 10:15    来源:中国国际科技合作网    字号:  

项目编号:2024D-0055

  瑞典Xzero公司于1997年从瑞典环境技术开发商Scarab公司分离并独立运营,专注于为微电子行业开发超纯水处理和生产系统。该公司投入20年时间研发用于微电子和纳米电子工业的工艺用水新技术,技术团队自1999年起与美国桑迪亚国家实验室和Intel公司合作,并在2023年与比时微电子研究中心(IMEC)建立了合作关系。此外,公司也在探索医药卫生和海水淡化领域的潜在应用,与斯德哥尔摩环境研究所和皇家理工学院合作开展城市废水中药物残留的去除研究,并与卡塔尔合作开展海水淡化研究等。

  Xzero公司开发了一种利用膜蒸馏技术制备的芯片生产用高洁净度纯水。资料显示,该技术可有效去除芯片生产过程中冲洗水中的污染物,包括亚29纳米颗粒和颗粒前体,从而减少芯片缺陷并提升制造良率。与现有技术相比,该技术在简化工艺流程的同时,避免了在多次级联纯化过程中引入新的污染。此外,该技术还能利用设备废热,进一步提高能效。

  该项目处于实验室成果阶段,已授权多项发明专利,外方希望通过技术入股、专利转让、合作生产、投资、代理等方式开展合作。

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