资讯编号：2025T-0076

　　韩国标准科学研究院（KRISS）研究团队开发出一种测量系统，能安装在等离子体工艺设备上，实时监测设备内部部件状态。该系统由测试部件支架、捕集装置和分析传感器组成。研究人员将测试部件安装在设备上，系统会捕集因等离子体暴露而剥离的部件涂层，并通过传感器对其进行分析，实时诊断部件状况和剩余寿命。使用该系统能提高工艺稳定性和生产效率，减少因不必要的部件更换造成的成本浪费及损失。研究成果发表在《欧洲陶瓷学会杂志》（Journal of the European Ceramic Society）上。

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