磁控溅射靶材
来源:成果转化处、省对外科技交流中心 时间:2022-10-21 09:40

  本项目主要采用先进的真空熔炼和烧结技术、等离子热喷涂技术、冷等静压及热等静压技术、高精度机械成型加工、热处理工艺等技术成功开发磁控溅射靶材,使得磁控溅射靶材产品迅速得到国内高端用户及外资企业的认可,改变使用进口产品的现状。项目产品主要技术与性能指标,达到项目合同书约定的技术指标。项目执行期内,获得发明专利1项,实用新型专利3项。

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