项目编号：2023D-0051

　　SWHL GmbH是一家瑞士私营公司，旨在开发全息成像的各种应用。亚波长全息光刻（简称SWHL）是一种用于集成电路生产的新光刻技术，可降低IC生产的光刻阶段的成本。该技术中，全息步进器不需要投影光学器件，设计比投影扫描仪简单；全息掩模的结构非常简单，可以在短时间内（<2小时）在基本的掩模书写设备上生产；它们对局部缺陷不敏感，使用寿命长，不需要控制或维护。